Повна версія

Головна arrow Техніка arrow ЕЛЕКТРОНІКА. ЧАСТИНА 1 ВАКУУМНА ТА ПЛАЗМОВА ЕЛЕКТРОНІКА

  • Увеличить шрифт
  • Уменьшить шрифт


<<   ЗМІСТ   >>

МОЖЛИВОСТІ ЗОНДОВОЙ МІКРОСКОПІЇ

Впродовж останнього десятиріччя в електроніці інтенсивно розвиваються принципово нові методи вивчення поверхонь з нанометровим і атомарним просторовим дозволом і, перш за все, скануюча зондовая мікроскопія. Даний термін відноситься до будь-яких типів мікроскопів, в яких зображення формується за рахунок переміщення (сканування) гострого микрозонда (голки) над досліджуваної поверхнею. Родоначальником таких приладів був тунельний мікроскоп (СТМ).

Головним достоїнством сучасних СЗМ є:

  • ? можливість отримання достовірних даних про висоту мікрорельєфу;
  • ? відсутність додаткових проміжних процедур (напилення, виготовлення реплік), що знижують достовірність результатів;
  • ? можливість отримання нанометрового, а іноді і ангстремного дозволу на повітрі.

СЗМ може застосовуватися для проведення спеціальних дій і нанолітографіче- ських операцій на нанометровому рівні - струмових, електрополевих впливів, механічних, хімічних та ін. СЗМ може бути використаний для досліджень в біології та медицині, в матеріалознавстві, в дослідженнях різних покриттів і тонких плівок, полімерних і наноструктурованих матеріалів, в хімії і хімічній промисловості, фізики і т. д. (рис. 7.10).

Фрагмент інтегральної схеми, отриманий на мікроскопі SOLVER S-MDT. Поле сканування 100x100 мкм

Мал. 7.10. Фрагмент інтегральної схеми, отриманий на мікроскопі SOLVER S-MDT. Поле сканування 100x100 мкм

СЗМ має широке застосування:

? в науці (в області освіти, загальної метрології, матеріалознавстві, в дослідженнях структур металів і сплавів, в дослідженнях напівпровідникових приладів і інтегральних схем, властивостей тонких плівок, в розробках запам'ятовуючих середовищ, в тому числі для терабітних пам'яті, для маніпуляцій на нанометровому рівні);

Класифікація основних методик СЗМ

Мал. 7.11. Класифікація основних методик СЗМ

? в промисловості (в металургії і металообробці, оптичної промисловості, при аналізі якості поверхні матеріалів, медицині і медичній промисловості, у виробництві порошкових матеріалів, фарб, захисних покриттів, в мікроелектроніці, у виробництві компакт-дисків, накопичувачів і пристроїв запису-зчитування для ЗУ надвеликої ємності).

На рис. 7.11 наведені основні методики скануючої зондової мікроскопії. Фундаментальні досягнення в області вакуумної електроніки є основою для розвитку нових напрямків у науці. Наприклад, в скануючої зондової мікроскопії, наноелектроніки та нанотехнологій широко використовуються досягнення вакуумної електроніки. І це не останнє, що взято з анналів вакуумної електроніки.

КОНТРОЛЬНІ ПИТАННЯ

  • 1. Опишіть явище вакуумного тунелювання.
  • 2. Що таке сили Ван-ДСР-Воальса?
  • 3. Що таке кантилевер і як він улаштований?
  • 4. Які вимоги до зонду тунельного мікроскопа?
  • 5. Опишіть структурну схему атомну силового мікроскопа.
  • 6. Які методики досліджень з помошио скануючого зондового мікроскопа ви знаєте?

РЕКОМЕНДОВАНА ЛІТЕРАТУРА

  • 1. Арутюнов П. А., Толстіхина А. Л. ACM в задачах проектування приладів мікро- і наноелек- ТРОНІК. - Мікроелектроніка, т. 28. № 6. 1999.
  • 2. Биков В. А. мікромеханіки для скануючої зондової мікроскопії та нанотехнології. - Мікросістсмная техніка, № I, 2000..
  • 3. Неволін В. К. Фізичні основи тунмелию-зондової нанотехнології. Навчальний посібник (рукопис). - М .: МІЕТ, 2000..
  • 4. Свистунов В. М., Белоголовскнй М. А., Дьяченко А. І. ВАКу мная тунельна мікроскопія і спектроскопія. - УФК, т. 154, ст. I, 1988.
 
<<   ЗМІСТ   >>