Повна версія

Головна arrow Техніка arrow ЕЛЕКТРОНІКА. ЧАСТИНА 1 ВАКУУМНА ТА ПЛАЗМОВА ЕЛЕКТРОНІКА

  • Увеличить шрифт
  • Уменьшить шрифт


<<   ЗМІСТ   >>

ЕЛЕКТРОВАКУУМНІ МІКРОЛАМПИ

Електровакуумні мікролампи за своїми властивостями багато в чому подібні до польовим транзисторам. Вакуумні інтегральні тріоди називають також вакуумними польовими транзисторами, а їх електроди - катод, сітка, анод або ж емітер, затвор, колектор.

В основі роботи вакуумних інтегральних схем (ВІС) лежать ті ж фізичні явища, що і в основі роботи розглянутих електровакуумних триодов. ВІС мають ряд унікальних характеристик, зокрема, швидкість електронів в них може бути набагато більше, ніж в будь-якому полупроводнике, їх частотні властивості краще частотних властивостей кремнієвих інтегральних схем і порівняти з властивостями арсенід-галієвих ІС. Крім того, ВІС мають кращу радіаційної стійкістю. При виготовленні ВІС використовується добре відпрацьована технологія напівпровідникових ІС.

Однією з основних проблем при створенні ВІС є розробка холодних (не підігрівати) емітерів (катодів). У ВІС використовується, в основному, електростатична (автоелектронна) емісія.

Найбільш вивченими є інтегральні тріоди, які складаються з холодного емітера (катода), керуючого електрода (затвор - аналог керуючої сітки) і колектора (анода). Приклади пристроїв вакуумних мікротріодов плоскою і вертикальної конструкції наведені на рис. 4.9. Катод 1 виготовлений у вигляді вістря з кременю. Між масивної частиною катода і керуючим електродом (сіткою) 2, виконаним з металевої плівки, розташовується діелектричний шар SiO ?. Структура виконана на площині (поверхні) діелектричної підкладки і накривається діелектричним порожнистим ковпачком.

На рис. 4.10 показаний металокерамічний тріод.

Структура мікротріода, виконаного в складі вакуумної інтегральної схеми

Мал. 4.9. Структура мікротріода, виконаного в складі вакуумної інтегральної схеми

металокерамічний триод

Мал. 4.10. металокерамічний триод

 
<<   ЗМІСТ   >>