Повна версія

Головна arrow Техніка arrow ЕЛЕКТРОНІКА. ЧАСТИНА 1 ВАКУУМНА ТА ПЛАЗМОВА ЕЛЕКТРОНІКА

  • Увеличить шрифт
  • Уменьшить шрифт


<<   ЗМІСТ   >>

ВТОРИННА ЕЛЕКТРОННА ЕМІСІЯ

Вторинна електронна емісія - це явище випускання твердими тілами вторинних електронів при їх бомбардуванні первинними електронами.

Потік вторинних електронів складається з пружно і непружно відображених первинних електронів і істинно вторинних електронів. Вторинні електрони мають безперервний енергетичний спектр від нуля до енергії первинних електронів. На рис. 3.5 наведено розподіл вторинних електронів по енергіях, емітованих вольфрамом.

Область спектра / відповідає пружно відбитим первинним електронам, область II - непружно відбитим первинним електронам, і область /// характеризує енергетичний спектр істинно вторинних електронів. Кожне явище характеризується своїм коефіцієнтом:

  • ? г-коефіцієнт пружно відбитих електронів, що дорівнює відношенню числа пружно відбитих електронів до числа первинних електронів:
  • ? 7- коефіцієнт неупругоотраженних електронів, що дорівнює відношенню числа непружно відбитих електронів до числа первинних електронів;
  • ? 5 коефіцієнт істинної вторинної електронної емісії, рівний відношенню числа істинно вторинних електронів до числа первинних електронів.

Повний коефіцієнт вторинної електронної емісії про визначається співвідношенням:

Всі складові коефіцієнта вторинної електронної емісії в першу чергу залежать від величини роботи виходу електронів, а також від параметрів пучка первинних електронів і властивостей емітера.

У діелектриках і емітерах з широкою забороненою зоною і малим спорідненістю до електрону коефіцієнт а має значення близько 100.

З.Б. Енергетичний спектр вторинних електронів

Мал. З.Б. Енергетичний спектр вторинних електронів

 
<<   ЗМІСТ   >>